不是真正意义上的光刻机,还没有销售出去
5月27日的某次投资者互动平台上,国产激光巨头大族激光正式官宣,已经实现了3~5μm光刻机的批量生产,并且准备对外出售。不过该光刻机并不是通常意义上的光刻机,是制造分立器件、LED类的,就是直写式,并不是经常说的制造芯片的光刻机。
1 难以简单比较哪个更好,因为它们各有所长。
2 大族激光在激光设备和系统方面拥有较强的技术实力和市场份额,其产品涵盖激光切割、激光焊接、激光打标等多个领域。
3 宏山激光则专注于高端激光器件的研发和生产,其产品涉及红外激光器、紫外激光器、绿光激光器等多个领域,并且在部分领域处于国际领先地位。
3000-5000纳米。大族激光光刻机是3000-5000纳米光刻机,既3-5微米。主要用于分立器件、LED基板等领域,属于接近式光刻机,光源属于第一代、第二代,436/365纳米波长的光源。